無機(jī)質(zhì)譜儀是質(zhì)譜儀中的一大分類，與有機(jī)質(zhì)譜儀不同的是主要以電感耦合高頻放電(ICP)使被測(cè)物質(zhì)離子化的質(zhì)譜儀，主要用于無機(jī)元素微量分析和同位素分析等方面，應(yīng)用廣泛。無機(jī)質(zhì)譜儀是較精密的儀器，需要平時(shí)經(jīng)常維護(hù)保養(yǎng)，減少故障。
 

　　1.定期進(jìn)行機(jī)械泵振氣，ESI源每周一次，APCI源每天一次。
 

　　2.每周檢查一次機(jī)械泵狀況。
 

　　3.定期更換機(jī)械泵油，一般情況下，連續(xù)工作125天更換一次。當(dāng)泵油明顯變色或液面下降1/2以下時(shí)需要立即更換。
 

　　4.當(dāng)出現(xiàn)堵塞、靈敏度下降時(shí)，需要清洗探頭尖，更換毛細(xì)管。
 

　　5.當(dāng)電暈放電針(APCI)看上去已腐蝕、變黑或靈敏度下降時(shí)需要及時(shí)清潔
 

　　6.當(dāng)采樣錐孔和擋板明顯變臟、變黑或靈敏度下降時(shí)及時(shí)清洗，若清洗完采樣錐孔后靈敏度仍低時(shí)則需要清洗萃取錐孔、離子座和六極器。